暴露倉專用的FFU高效過濾器泄漏檢測
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- 發(fā)布日期：2020-06-24 10:09:36
FFU過濾器泄漏檢測的主要目的是找出過濾器本身及其安裝過程中存在的缺陷，如過濾介質(zhì)等損壞、機架密封、墊片密封、機架泄漏等，從而采取補救措施和更換。
FFU過濾器是安裝在FFU凈化裝置上的過濾器，一般采用無隔斷的方式生產(chǎn)。過濾材料為超細(xì)玻璃纖維，過濾等級為H13或h14，主要捕集0.3um粉塵顆粒。FFU過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、平板顯示器、磁盤驅(qū)動器制造商、光學(xué)及生物行業(yè)、潔凈生產(chǎn)線、暴露倉、裝配潔凈室、層流罩等場所。
FFU過濾器:
1. 過濾材料:h13h14濾紙、u15-u17美國高壓玻璃纖維濾紙。
2. 密封劑:聚氨酯膠粘劑、熱熔膠。
3.框架材質(zhì):鋁型材框架、鋁板折疊框架、鍍鋅框架、不銹鋼框架、塑料框架。
4. 隔斷采用熱熔膠，保護網(wǎng)采用噴金剛網(wǎng)
5. 過濾器的過濾效率:H13: 99.99% @ 0.3退學(xué)m到U17: 99.99995% @ 0.12退學(xué)m。不同的過濾器的價格和成本是不同的。
6. 使用0高溫70℃，使用0高濕100℃。
7. 鋁型材可選厚度:46mm、50mm、69mm、80mm、90mm、96mm(無隔板過濾器外框主要使用:鋁合金型材、多層板框、鋁板框、鍍鋅鋼板框，0以上為鋁合金型材框)。
8. FFU過濾器常用規(guī)格:570 * 570 * 69mm 1170 * 570 * 69mm 1170 * 1170 * 69mm本產(chǎn)品規(guī)格可定做!
A.過濾器泄漏試驗的程序如下:排出顆粒并檢查濃度，篩檢邊界掃描，發(fā)現(xiàn)泄漏，更換或修理，重新測試。
B.在表面記錄過濾器的數(shù)量和數(shù)量。
驗證暴露倉空調(diào)系統(tǒng)的正常運行，并進行測試。
D.使用氣凝膠發(fā)生器攻擊上游的顆粒，將PAO推向上游，其濃度約為每升空氣10至20微克。顆粒越多，越容易檢測出泄漏，但50微克以上的差別不大，很難用在10微克以下。通過風(fēng)量可以粗略計算出顆粒濃度，并用凝膠光度計確認(rèn)。
E.在確認(rèn)上游顆粒濃度后，可以掃描過濾器表面是否有泄漏，并在過濾器周圍使用塑料簾子，以保證測試的準(zhǔn)確性。
F.對濾波器表面進行掃描，可以檢測到從外到內(nèi)或沿長/短邊的掃描路徑。
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